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    電子束蒸發鍍膜設備

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    高真空電子束及熱阻蒸發薄膜沉積系統--DZS500
    編號:
    系統主要由蒸發真空室、E型電子槍、熱阻蒸發組件、旋轉基片加熱臺、工作氣路、抽氣系統、真空測量、安裝機臺及電控系統等部分組成,自動控制軟件系統。
    高真空電子束蒸發薄膜沉積系統--EB900
    編號:
    系統主要由蒸發室、主抽過渡管路、旋轉基片架、光加熱系統、電子槍及電源、石英晶體振蕩膜厚監控儀、工作氣路、抽氣系統、控制系統、安裝機臺等部分組成,體現立方整體外觀,適用于超凈間間壁隔離安裝,操作面板一端處在相對要求較高超凈環境,其余部分(含低溫泵抽系統)處在相對要求較低超凈環境。
    高真空電子束蒸發薄膜沉積系統--EB700
    編號:
    系統主要由蒸發室、主抽過渡管路、旋轉基片架、光加熱系統、電子槍及電源、石英晶體振蕩膜厚監控儀、工作氣路、抽氣系統、控制系統、安裝機臺等部分組成,體現立方整體外觀,適用于超凈間間壁隔離安裝,操作面板一端處在相對要求較高超凈環境,其余部分(含低溫泵抽系統)處在相對要求較低超凈環境。
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